Modifikace a diagnostika povrchových vlastností pevných látek (2021015)
Departments: | ústav fyziky (12102) |
Abbreviation: | MDPL | Approved: | 01.02.2021 |
Valid until: | ?? | Range: | 2P+1C |
Semestr: | | Credits: | 3 |
Completion: | Z,ZK | Language: | CS |
Annotation
Rozdělení metod modifikace vlastností pevných látek: fázové transformace,difúzní, plazmová, iontová nitridace; metody IBAD, IBM a iontové rozprašování,metody PVD, CVD a PACVD, plazmový nástřik. Metody diagnostiky vlastností pevných látek: analýza chemického složení, RBS, GDOES, SIMS, AES, ERDA fázová analýza, XRD, LEED, RHEED, diagnostika užitných vlastností.
Structure
1. Charakteristika povrchů pevných látek, fázové transformace.
2. Difúze v pevných látkách, interakce plynů a plazmatu s povrchy pevných látek.
3. Metody nitridace a karbonizace materiálů.
4. Metoda IBAD (Ion Beam Assisted Deposition), IBM (Ion Beam Mixing).
5. PVD (Physical Vapour Deposition) –techniky napařování a naprašování.
6. CVD (Chemical Vapour Deposition) a PA CVD (Plasma Assisted CVD).
7. Difrakce rentgenova záření, elektronů a neutronů na površích, XRD (X-Ray Diffraction).
8. Aplikace difrakce elektronů, LEED (Low Energy Electron Diffraction), RHEED.
9. EPMA (Electron Probe Microanalysis), princip a možnosti metody.
10. AES (Auger Electron Spectroscopy), GDOES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy), principy a
možnosti metod.
11. RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy), ERDA (Elastic Recoil Electron Analysis), principy a možnosti
metod.
12. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry), princip a možnosti metody. Shrnutí analytických metod.
13. Přehled metod diagnostiky užitných vlastností, nanoindentace, scratch test, pin on disk, AFM, SEM, principy a
možnosti metod.
Informa
Literarture
[1] Sedláček V.: Povrchy a povlaky kovů, ČVUT, 1992
[2] Gricová M., Metody analýzy materiálů, ČVUT, 1988
[3] Frank L., Král J. (ed.): Metody analýzy povrchů, Academia, Praha, 2002
[4] Wachtman,J.B; Haber,R.A.: Ceramic Films and Coatings, Noyes Publications, Park Ridge,1993 Bunshah,R.F.:
Handbook of Hard Coatings,Noyes Publications, Park Ridge,2001