Modifikace povrchových vlastností (2025007)
Departments: | ústav fyziky (12102) |
Abbreviation: | | Approved: | 07.02.2012 |
Valid until: | ?? | Range: | 2P+1C |
Semestr: | * | Credits: | 3 |
Completion: | KZ | Language: | CS |
Annotation
V rámci předmětu je nejdříve studována problematika fyzikálně čistých povrchů. Charakteristiky povrchů fyzikální, chemické, mechanické a další. Kurz seznamuje posluchače s možnostmi úprav povrchů a to jak cestou mechanickou tak chemickou. Dále kurz detailně pojednává o způsobech deponování tenkých vrstev, popisuje metody dnes již klasické (CVD,PVD), a pokročilé (např. IBAD). Předmět dále seznamuje posluchače s významnými druhy a typy vrstev a porovnává jejich vlastnosti. V závěru kurzu jsou rozebírány způsoby hodnocení tenkých vrstev, možnosti a omezení jejich vyhodnocení a zkoumání.
Structure
1. Úvod do předmětu. Základní pojmy. Východiska a účel předmětu.
2. Charakteristiky povrchu fyzikálně čistých látek. Povrchové napětí, fyziosorpce,
chemisorpce, adsorpce. Difúze. Adheze.
3. Vlastnosti povrchu - mechanické, optické, chemické a korozní.
4. Příprava gradientních vrstev a jejich vyhodnocování pomocí bezkontaktního 3D souřadnicového systému.
5. Mechanické úpravy povrchů.
6. Plazma a její technické použití.
7. Modifikace vrstev - chemické úpravy povrchů, iontová nitridace.
8. Vakuum a vakuová technika.
9. Příprava vrstev - fyzikální metody. PVD. Iontová implantace. IBAD.
10. Příprava vrstev - chemické metody. CVD. PACVD.
11. Analýzy a metody zkoumání vrstev a tenkých filmů.
12. Význam a druhy otěruvzdorných či kluzných vrstev.
13. Zápočet a zkouška.
Structure of tutorial
Různé metody přípravy tenkých vrstev. Exkurze na specializované pracoviště.
Literarture
Sedláček,V.: Povrchy a povlaky kovů, FJFI ČVUT v Praze, 1992, 174 s.
Fiala,J., Kraus,I.: Povrchy a rozhraní, ČVUT v Praze, 2009, 299 s.
Requirements
U studenta se předpokládají znalosti základního kurzu Fyziky I, Fyziky II a základy fyziky pevné fáze. Znalosti základních technologických procesů jsou výhodou.