Modifikace povrchových vlastností (2025007)
Katedra: | ústav fyziky (12102) |
Zkratka: | | Schválen: | 07.02.2012 |
Platí do: | ?? | Rozsah: | 2P+1C |
Semestr: | * | Kredity: | 3 |
Zakončení: | KZ | Jazyk výuky: | CS |
Anotace
V rámci předmětu je nejdříve studována problematika fyzikálně čistých povrchů. Charakteristiky povrchů fyzikální, chemické, mechanické a další. Kurz seznamuje posluchače s možnostmi úprav povrchů a to jak cestou mechanickou tak chemickou. Dále kurz detailně pojednává o způsobech deponování tenkých vrstev, popisuje metody dnes již klasické (CVD,PVD), a pokročilé (např. IBAD). Předmět dále seznamuje posluchače s významnými druhy a typy vrstev a porovnává jejich vlastnosti. V závěru kurzu jsou rozebírány způsoby hodnocení tenkých vrstev, možnosti a omezení jejich vyhodnocení a zkoumání.
Osnova
1. Úvod do předmětu. Základní pojmy. Východiska a účel předmětu.
2. Charakteristiky povrchu fyzikálně čistých látek. Povrchové napětí, fyziosorpce,
chemisorpce, adsorpce. Difúze. Adheze.
3. Vlastnosti povrchu - mechanické, optické, chemické a korozní.
4. Příprava gradientních vrstev a jejich vyhodnocování pomocí bezkontaktního 3D souřadnicového systému.
5. Mechanické úpravy povrchů.
6. Plazma a její technické použití.
7. Modifikace vrstev - chemické úpravy povrchů, iontová nitridace.
8. Vakuum a vakuová technika.
9. Příprava vrstev - fyzikální metody. PVD. Iontová implantace. IBAD.
10. Příprava vrstev - chemické metody. CVD. PACVD.
11. Analýzy a metody zkoumání vrstev a tenkých filmů.
12. Význam a druhy otěruvzdorných či kluzných vrstev.
13. Zápočet a zkouška.
Osnova cvičení
Různé metody přípravy tenkých vrstev. Exkurze na specializované pracoviště.
Literatura
Sedláček,V.: Povrchy a povlaky kovů, FJFI ČVUT v Praze, 1992, 174 s.
Fiala,J., Kraus,I.: Povrchy a rozhraní, ČVUT v Praze, 2009, 299 s.
Požadavky
U studenta se předpokládají znalosti základního kurzu Fyziky I, Fyziky II a základy fyziky pevné fáze. Znalosti základních technologických procesů jsou výhodou.
data
online/KOS/FS :: [
Helpdesk] (hlášení problémů) :: - datum tisku: 13.10.2024, 10:20 © 2011-2022 [
CPS] v3.8 (master/ade9e2c3/2024-10-11/07:15)