Předmět uvádí do problematiky plazmatu z hlediska aplikace plazmových metod ve strojírenství. Výboje v plynech jako zdroje nízkoteplotního plazmatu. Charakterizace jednotlivých typů výbojů. Základní parametry plazmatu. Boltzmannova transportní rovnice, ambipolární difúze. Diagnostika plasmatu, hmotnostní spektrometrie plynů. Sondové metody, jejich měření a vyhodnocování. Optické diagnostické metody, emisní a absorpční spektrometrie, vyhodnocování spekter. Aplikace plazmových metod v oboru depozice povlaků a modifikací povrchů.

1.Možnosti aplikací plazmově podporovaných metod v technice.
2.Základní vlastnosti plazmatu, parametry a popis plazmatu.
3.Výboje v plynech jako zdroje plazmatu v technice.
4.Boltzmannova transportní rovnice, ambipolární difúze.
5.Diagnostika plazmatu, hmotnostní spektroskopie.
6.Sondové metody, vyhodnocení měření.
7.Optická emise plazmatu, emisní a absorpční spektroskopie.
8.Interakce plazmatu s povrchy pevných látek.
9.Proces plazmové nitridace.
10.Plazmové procesy při magnetronovém naprašování.
11.Plazmové procesy při dalších metodách depozice povlaků.
12.Plazmové procesy při svařování a řezání materiálů.

1.Základy práce s vakuovými soustavami.
2.Doutnavý výboj, měření parametrů
3.Práce s hmotnostním spektrometrem.
4.Měření a vyhodnocení optické emise plazmatu.
5.Magnetronové naprašování tvrdých povlaků.
6.Depozice povlaků napařováním a iontovým plátováním.

Chen,F.F;: Úvod do fyziky plazmatu, Academia, Praha, 1984.
Kracík, J.Tobiáš,J.; Fyzika plazmatu, Academia, Praha, 1966.
Kleczek, J.; Plazma ve vesmíru i v laboratoři, Academia, Praha, 1968.

Znalost fyziky na úrovni základního kurzu.

Nízkoteplotní plazma, diagnostika plazmatu, optická emise, sondové metody.