Mikro a nano-technologie (W02O003)
Katedra: | ústav fyziky (12102) |
Zkratka: | | Schválen: | 16.05.2007 |
Platí do: | ?? | Rozsah: | 4P+1C |
Semestr: | Z,L | Kredity: | |
Zakončení: | ZK | Jazyk výuky: | CS |
Anotace
Definice a úvod; mikro - a nano - struktury; kvantová podstata nanosvěta; Schrödingerova rovnice; kvantové stavy a energie; kvantové tečky, kvantové dráhy, nanovrstvy; samouspořádané nanostruktury; fullereny, nanotrubice; křemíková technologie; vytváření horizontálních a vertikálních struktur, maskování, fotolitografie; metody depozice kovových a dielektrických vrstev; optická a rentgenová litografie; elektronová litografie; mikroskop využívající atomových sil (AFM - Atomic Force Microscope); nanokonstrukce pomocí AFM.
Osnova
Literatura
Wolf,E.L.: Nanophysics and Nanotechnology. Wiley-VCH, 2004. Bhushan,B.: Handbook of Nanotechnology, Springer-Verlag Berlin, 2004