česky  čs
english  en
Vybrané metody modifikace a diagnostiky povrchových vrstev (W02O007)
Katedra:ústav fyziky (12102)
Zkratka:Schválen:16.05.2007
Platí do: ??Rozsah:30
Semestr:Z,LKredity:
Zakončení:ZKJazyk výuky:CS
Anotace
Rozdělení metod modifikace povrchových vrstev: fázové transformace, difúzní a plazmová nitridace; iontová a plazmová implantace, metody IBAD, IBM a iontové rozprašování, metody PVD, CVD a PACVD, plazmový nástřik. Metody diagnostiky povrchových vrstev: fázová analýza, XRD, LEED a RHEED. Metody pro vyšetřování složení vrstev: EPMA, AES, GDOES, RBS, ERDA, SIMS.
Osnova
1.Charakteristika povrchů pevných látek, fázové transformace.
2.Difúze v pevných látkách, interakce plynů a plazmatu s povrchy pevných látek.
3.Metody nitridace a karbonizace technických materiálů.
4.Metody IBAD (Ion Beam Assisted Deposition) a IBM (Ion Beam Modification).
5.PVD (Physical Vapour Deposition) - napařování a magnetronové naprašování.
6.CVD (Chemical Vapour Deposition) a PA CVD (Plasma Assisted CVD).
7.Difrakce rentgenova záření a elektronů na površích, XRD (X-Ray Diffraction).
8.Aplikace difrakce elektronů, LEED (Low Energy Electron Diffraction), RHEED.
9.EPMA (Electron Probe Microanalysis), princip a možnosti metody.
10.AES (Auger Electron Spectroscopy), GDOES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy),principy a možnosti metod.
11.RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy), ERDA (Elastic Recoil Electron Analysis),
principy a možnosti metod.
12.SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry), princip a možnosti metody. Shrnutí analytických
metod.
Osnova cvičení
1.Měření parametrů povrchů : mikrotvrdost a nanotvrdost, elastické konstanty.
2.Měření parametrů povlaků : adheze, tloušťka.
3.Depozice povlaků metodou IBAD
4.Depozice povlaků napařováním a magnetronovým naprašováním.
5.Depozice povlaků PA CVD
6.Demonstrace použití XRD
7.Exkurze na specializované pracoviště.
8.Exkurze na specializované pracoviště.

Literatura
Wachtman,J.B; Haber,R.A.: Ceramic Films and Coatings, Noyes Publications, Park Ridge,1993 Bunshah,R.F.: Handbook of Hard Coatings,Noyes Publications, Park Ridge,2001
Sedláček V.: Povrchy a povlaky kovů, ČVUT, 1992
Gricová M., Metody analýzy materiálů, ČVUT, 1988
Frank L., Král J. (ed.): Metody analýzy povrchů, Academia, Praha, 2002
Požadavky
Znalost fyziky a materiálového inženýrství, oboje na úrovni základního kurzu.
Klíčová slova
Charakteristiky povrchů, nitridace, karbonizace, PVD, CVD, rentgenová difrakce, LEED, EPMA, EAS, RBS, SIMS.
data online/KOS/FS :: [Helpdesk] (hlášení problémů) :: [Obnovit] [Tisk] [Tisk na šířku] © 2011-2017 [CPS] v3.7 (master/180e4e5a/2019-10-09/02:51)