Cílem kurzu je získání znalostí potřebných pro porozumění moderním a perspektivním vakuovým výrobně technologickým procesům ve strojírenství. Úvodní blok je věnován kinetické teorii plynů v oboru nízkých tlaků a interakci plynů se stěnami vakuových systémů. Další blok se zabývá obecnými zákonitostmi získávání nízkých tlaků a základními typy vývěv. Následuje měření celkových a parciálních tlaků a přednáška je uzavřena blokem pojednávajícím o praktickém užívání vakuové techniky.

1.Význam vakuové fyziky ve vědě a technice. Kinetická teorie plynů: tlak plynu, střední
střední volná dráha molekul, obory tlaků ve vakuové technice. Jednotky.
2.Difúze, tepelná transpirace, přenos energie. Režimy proudění plynů, vakuová
vodivost, proudění plynu netěsnostmi.
3.Povrchové procesy: vazby molekul a atomů, fyzikální a chemická sorpce a desorpce,
adsorpční izotermy.
4.Tlak nasycených par, odpařování. Materiály pro vakuovou techniku.
5.Metody získávání nízkých tlaků : čerpací rychlost, časový průběh čerpacího procesu,
mezní tlak, zbytková atmosféra, rozdělení tlaku v systému při čerpání.
6.Vývěvy s pracovní komorou: pístové, s valivým pístem, olejové a suché rotační vývěvy,
šroubové vývěvy.
7.Vývěvy s přenosem impulsu : Rootsovy vývěvy, molekulární a turbomolekulární vývěvy.
8.Vývěvy s proudem pracovní tekutiny: vodní vývěva, difúzní vývěvy. Vývěvy s vazbou
molekul : kryosorpční, zeolitové, sublimační vývěvy.
9.Zásady návrhů vakuových systémů.
10.Měření nízkých tlaků : membránové a kompresní vakuoměry, tepelné vakuoměry, ionizační
vakuoměry.
11.Měření parciálních tlaků, hledání netěsností vakuových soustav.
12.Stavební prvky vakuových soustav, spoje, příruby, těsnění, přenos pohybu do vakua.
13.Zásady práce s vakuovými systémy, vakuová hygiena

1.Příklady aplikace vakuových systémů ve strojírenství, základní výpočty v oblasti
nízkých tlaků.
2.Vakuová vodivost reálných systémů. Příklady na sorpci a desorpci plynů.
3.Měření čerpací rychlosti vývěvy.
4.Porovnávací měření s vakuometry pracujícími na rozdílných principech.
5.Hledání netěsnosti vakuové soustavy.
6.Příklad aplikace vakuové techniky: depozice tenkých vrstev metodou PVD.
7.Návrh a výpočet reálné vakuové soustavy.

Dúbravcová V. : Vakuová a ultravakuová technika , ALFA, Bratislava 1992
Fikes L. :Fyzika nízkých tlaků ,SNTL, Praha 1991
Pátý L. : Vakuová technika ,ČVUT, Praha 1990
Grozskowski J. :Technika vysokého vakua ,SNTL, Praha 1981
Král J. : Cvičení z vakuové techniky, ČVUT , 1996, Praha

Kinetická teorie plynů, přenosové jevy v plynech, elektrické vlastnosti látek - na úrovni základního kurzu fyziky.

Vakuum, kinetická teorie plynů, adsorpce, transportní jevy při nízkých tlacích, vakuové technologie, vývěvy, měření nízkých tlaků.